RION/日本理音液體粒子計數(shù)器，可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數(shù)器的使用是為了控制化學品中的粒子，如半導體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學劑比如堿，有機溶劑和氫氟酸。另外，也可檢測化學機械拋光中大粒徑的研磨液，測試方法包括在線和離線測試。
 

特點優(yōu)勢

粒徑范圍(4通道): ≧0.15µm,≧0.2µm,≧0.3µm,≧0.5µm

可選通道: 1-10個通道,由控制器設定,設定范圍:0.15~0.5µm

技術(shù)參數(shù)

光源: 鐳射二極管(波長830nm,額定輸出200mW)

鐳射材料: 人造石英PFA

流量: 100ml/分鐘

粒徑范圍(4通道): ≧0.15µm,≧0.2µm,≧0.3µm,≧0.5µm

可選通道: 1-10個通道,由控制器設定,設定范圍:0.15~0.5µm

粒子數(shù)量: 1200顆/ml

電源: DC12V(由KE-40B1供應)

尺寸.重量: 160×300×250mm,大約:7.5kg