RION/日本理音液體粒子計數(shù)器，可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數(shù)器的使用是為了控制化學品中的粒子，如半導體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學劑比如堿，有機溶劑和氫氟酸。另外，也可檢測化學機械拋光中大粒徑的研磨液，測試方法包括在線和離線測試。

特點優(yōu)勢

光源鐳射二極管(波長:780nm,額定輸出:5mW)

鐳射材料 人造石英PFA PTFE

流量10ml/分鐘

粒徑范圍(7通道，標配) ;   ≥0.5μm;  ≥1μm;   ≥2μm;   ≥3μm;   ≥5μm;  ≥10μm;  ≥20μm 

可選通道 1-10個通道,由控制器設(shè)定,設(shè)定范圍:0.5~20μm

粒子數(shù)量 1200顆/ml

電源 DC12V(由KE-40B1供應(yīng))

尺寸.重量 125（H）X 240(W)  X 151(D)mm,大約:3.2kg