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日本理音RION KL-30A液體粒子計數(shù)器

日本理音RION KL-30A液體粒子計數(shù)器

RION/日本理音液體粒子計數(shù)器,可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數(shù)器的使用是為了控制化學品中的粒子,如半導(dǎo)體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料,超純水和清洗用化學劑比如堿,有機溶劑和氫氟酸。另外,也可檢測化學機械拋···...
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詳情介紹

RION/日本理音液體粒子計數(shù)器,可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數(shù)器的使用是為了控制化學品中的粒子,如半導(dǎo)體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料,超純水和清洗用化學劑比如堿,有機溶劑和氫氟酸。另外,也可檢測化學機械拋光中大粒徑的研磨液,測試方法包括在線和離線測試。

 

特點優(yōu)勢

粒徑范圍(4通道,標配) ;  ≥0.04μm; 0.08μm; 0.1μm;  0.15μm

可選通道 2-10個通道,由控制器設(shè)定,設(shè)定范圍:0.04~0.15μm

粒子數(shù)量 15000顆/ml,誤差值低于10%

 

技術(shù)參數(shù)

光源激光二極管泵/固態(tài)晶振鐳射(波長:532nm,額定輸出:500mW)

與樣品接觸部分材料 人造石英,碳氟橡膠、氟塑膠、PMC

外部材質(zhì) SUS304/316、有機玻璃、POM

流量 20ml/分鐘,清洗流量0.1-1l/分鐘(清洗流速隨著樣品來源之壓力不同而改變)

粒徑范圍(4通道,標配) ;  ≥0.04μm; 0.08μm; 0.1μm;  0.15μm

可選通道 2-10個通道,由控制器設(shè)定,設(shè)定范圍:0.04~0.15μm

粒子數(shù)量 15000顆/ml,誤差值低于10%

電源 100V-240V AC,50/60Hz 130VA

尺寸.重量 203(H)X  385(W) X 570(D)mm(突出部分除外)大約24.8kg

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