RION/日本理音液體粒子計數(shù)器,可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數(shù)器的使用是為了控制化學品中的粒子,如半導(dǎo)體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料,超純水和清洗用化學劑比如堿,有機溶劑和氫氟酸。另外,也可檢測化學機械拋光中大粒徑的研磨液,測試方法包括在線和離線測試。
粒徑范圍(4通道,標配) ; ≥0.04μm; ≥0.08μm; ≥0.1μm; ≥0.15μm
可選通道 2-10個通道,由控制器設(shè)定,設(shè)定范圍:0.04~0.15μm
粒子數(shù)量 15000顆/ml,誤差值低于10%
光源激光二極管泵/固態(tài)晶振鐳射(波長:532nm,額定輸出:500mW)
與樣品接觸部分材料 人造石英,碳氟橡膠、氟塑膠、PMC
外部材質(zhì) SUS304/316、有機玻璃、POM
流量 20ml/分鐘,清洗流量0.1-1l/分鐘(清洗流速隨著樣品來源之壓力不同而改變)
粒徑范圍(4通道,標配) ; ≥0.04μm; ≥0.08μm; ≥0.1μm; ≥0.15μm
可選通道 2-10個通道,由控制器設(shè)定,設(shè)定范圍:0.04~0.15μm
粒子數(shù)量 15000顆/ml,誤差值低于10%
電源 100V-240V AC,50/60Hz 130VA
尺寸.重量 203(H)X 385(W) X 570(D)mm(突出部分除外)大約24.8kg
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