在電子半導(dǎo)體廠中對(duì)局部微環(huán)境實(shí)施高度凈化是非常重要的。微環(huán)境基于隔離技術(shù)原理，工廠內(nèi)的加工、儲(chǔ)存和運(yùn)輸過程在晶圓附近提供完整的環(huán)境控制。

完全整合的微環(huán)境包括：一個(gè)微環(huán)境外殼將制程環(huán)境或機(jī)臺(tái)與環(huán)境潔凈室和人員隔開，用于自動(dòng)加載的輸入/輸出和密封容器，在裝卸、儲(chǔ)存和運(yùn)輸過程中提供晶圓保護(hù)，可以使用3種基本方法將其設(shè)計(jì)和整合到設(shè)備中。1.天花板吊頂式微環(huán)境：2.具獨(dú)立風(fēng)機(jī)過濾單元的地板支撐微環(huán)境;3.機(jī)臺(tái)整合微環(huán)境。

01天花板吊頂式微環(huán)境

外殼連接并懸掛在潔凈室天花板網(wǎng)格系統(tǒng)中，超凈化的空氣通過設(shè)施中心系統(tǒng)(管道或開放式氣管)供應(yīng)到外殼。這種類型的微環(huán)境提供了高靈活性，并可進(jìn)入機(jī)臺(tái)進(jìn)行維護(hù)。溫度和濕度以及化學(xué)過濾等環(huán)境參數(shù)在整體范圍內(nèi)受到控制。通過 HEPA/ULPA 過濾器的氣流速度通常在整個(gè)設(shè)施中固定，氣流是向下垂直層流，很少或根本沒有控制空氣速度。由于與天花板相連，微環(huán)境外殼，面板和檢修門材料決定了天花板網(wǎng)格系統(tǒng)規(guī)格(類型、負(fù)荷、潔凈度等)。

02具獨(dú)立風(fēng)機(jī)過濾單元的地板支撐微環(huán)境

該微環(huán)境系統(tǒng)完全獨(dú)立于設(shè)施中心系統(tǒng)，超凈化空氣通過風(fēng)機(jī)過濾單元提供給機(jī)柜。在需要溫度和濕度控制的地方，可以使用遠(yuǎn)程環(huán)境空氣處理裝置，必要時(shí)可按機(jī)臺(tái)提供化學(xué)過濾和密封選項(xiàng)。氣流可以是垂直或水平層流，速度可根據(jù)機(jī)臺(tái)的要求進(jìn)行調(diào)整。微環(huán)境外殼、面板和門禁材料完全獨(dú)立于天花板網(wǎng)格系統(tǒng)，因此選擇低成本天花板網(wǎng)格系統(tǒng)可以節(jié)省成本。

03機(jī)臺(tái)整合微環(huán)境

帶有氣體自循環(huán)系統(tǒng)，超潔凈的氣體/空氣通過自供電風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組提供。在需要溫度和濕度控制的地方，可以使用遠(yuǎn)程環(huán)境空氣處理裝置。

通常使用過濾后的潔凈空氣，但是在控制氧氣，水蒸氣的情況下，可以采取使用者選擇的氣體，如干燥空氣、氮?dú)饣驓鈶B(tài)氣。必要時(shí)可提供化學(xué)過濾和密封選項(xiàng)。高風(fēng)流向可以采用水平垂直方式設(shè)計(jì)，流速可以按機(jī)臺(tái)進(jìn)行調(diào)整。微環(huán)境外殼、面板和檢修門材料對(duì)天花板網(wǎng)格系統(tǒng)規(guī)格沒有影響，因此可以選擇低成本的網(wǎng)格系統(tǒng)。

 微環(huán)境比開放空間式潔凈室環(huán)境使用的優(yōu)勢(shì)包括以下幾點(diǎn) 

(1)與開放空間式潔凈室相比，在單一制程中控制污染效率更高，并能提供更好的質(zhì)量控制。

(2)生產(chǎn)環(huán)境與污染物隔離，尤其是與操作員。晶圓通過微環(huán)境內(nèi)部與環(huán)境隔離的吊艙之間自動(dòng)直通進(jìn)出，這些吊艙提供和檢索晶圓盒，并在其他制程站之間運(yùn)輸，也許其他制程站也位于微環(huán)境中。

(3)所有晶圓加工和運(yùn)輸機(jī)臺(tái)封閉在微環(huán)境中，可降低對(duì)機(jī)臺(tái)周圍空間空氣質(zhì)量的要求。