在電子半導(dǎo)體等高端工業(yè)領(lǐng)域氣態(tài)分子污染物的控制技術(shù)越來越受到關(guān)注和重視。其主要來源包括室外大氣環(huán)境中的有害氣體、潔凈室內(nèi)建筑裝修、工藝材料釋放的氣體等，這些因素構(gòu)成了一個多元且復(fù)雜的污染源。

為了有效控制空氣中的氣態(tài)分子污染物，需要采用合適的化學(xué)過濾器來吸附和去除這些污染物。而過濾器的性能直接決定空氣污染物的去除效率，影響空氣過濾系統(tǒng)的潔凈度級別和空氣凈化效果。

·化學(xué)過濾器主要性能指標(biāo)·

1.額 定 風(fēng) 量

額定風(fēng)量表示過濾器在單位時間內(nèi)處理空氣量能力的大小，額定風(fēng)量越大，過濾器的尺寸一般也越大，因此額定風(fēng)量實際上側(cè)面反映了過濾器的尺寸，即安裝占據(jù)的空間大小。

2.濾 速

濾速低則空氣在吸附劑層中的停留時間長，吸附效果也好。既要保證一定的濾速（停留時間)，又要考慮一定的送風(fēng)量，這就與過濾器的結(jié)構(gòu)，濾料的種類、形狀、粒徑等多種因素有關(guān)。

3.過濾器阻力--使用能耗

過濾器阻力是涉及運行成本的一個指標(biāo)，在一定風(fēng)量的情況下，氣流在過濾器上的壓降要求越小越好。在吸附劑確定以后，化學(xué)過濾器的風(fēng)量、阻力和氣體在濾料層中的滯留時間，在設(shè)計時應(yīng)給予綜合考慮。在保證一定濾料含量的前提下，應(yīng)通過最適合材料結(jié)構(gòu)和過濾器結(jié)構(gòu)來獲得盡可能低的阻力，使能耗降低，對潔凈室龐大的回風(fēng)系統(tǒng)來說，低阻力尤為重要。

4.吸 附 容 量

吸附容量是反應(yīng)化學(xué)過濾材料壽命的重要指標(biāo)，指化學(xué)過濾材料的吸附能力在到達(dá)某個額定的過濾效率時，吸附污染物的總質(zhì)量。吸附劑的質(zhì)量越多，能吸附的污染物質(zhì)量越大，吸附劑的吸附性能優(yōu)越，能吸附的污染物質(zhì)量越大。吸附容量的大小與濾芯面積及吸附劑本身的性能都有關(guān)系。

5.適 用 性

化學(xué)過濾材料要與需要去除的目標(biāo)污染物匹配，才能起到充分的凈化效果。

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