氣態(tài)分子級污染物 (AMC)已經(jīng)成為影響產(chǎn)品良率的主要因素之一，特別是電子半導(dǎo)體行業(yè)，在生產(chǎn)廠房建設(shè)過程中產(chǎn)生并殘留的及生產(chǎn)制造過程中產(chǎn)生的AMC會通過物理和化學(xué)反應(yīng)侵蝕廠房和工藝設(shè)備材料最終影響甚至改變正常工藝制程，大大降低產(chǎn)品良率。

1.AMC來源

AMC污染源分兩大部分

1.室外大氣：主要來源于外部環(huán)境中的氣相污染物，如廠區(qū)內(nèi)外的工業(yè)廢氣、汽車廢氣、自然環(huán)境揮發(fā)等；

2.室內(nèi)環(huán)境：主要來源于廠房建設(shè)及臨時用材料（如環(huán)氧、涂料、油漆、膠及膠水、塑料制品等）、施工工序（如焊接、熱熔、切割打磨等）、室內(nèi)人員、工藝生產(chǎn)過程中的氣體或化學(xué)品的泄漏、散發(fā)、揮發(fā)等。

2. AMC分類

AMC種類復(fù)雜,來源廣泛,控制難度高。根據(jù)SEMI發(fā)布的標(biāo)準(zhǔn)中將AMC分為四類:

1.酸性分子污染物：如HF、SO2、CL2等;

2.堿性分子污染物：如NH3等;

3.有機化合物：如SiH4，碳?xì)浠衔锏?

4.摻雜物：如磷（P)、硼(B）等。

3.AMC控制

1.污染源控制:通過檢測分析識別污染物來源，采取措施對污染源進(jìn)行控制，減少AMC的產(chǎn)生和釋放；

2.通風(fēng)控制：引入潔凈空氣，排走或者稀釋污染的空氣；

3.“根除”控制：目前行業(yè)中廣泛應(yīng)用并證明是最有成效的控制AMC方式一般是：通過物理吸附或化學(xué)反應(yīng)控制和去除污染物。

用化學(xué)過濾器的化學(xué)反應(yīng)來根除控制AMC是目前被行業(yè)極力推薦及其效果也深受信賴的一種方式，它可以將污染物同吸附劑中的化學(xué)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而達(dá)到去除污染物的目的，億天凈化濾料正是通過這一原理來實現(xiàn)。相比物理吸附,這種化學(xué)吸附效率更高,而且會將有毒有害氣體通過化學(xué)反應(yīng)氧化為無害的固體。

4.產(chǎn)品選型

通過檢測識別空氣中AMC的具體種類和濃度，億天凈化可針對每種環(huán)境定制濾料和相關(guān)解決方案。

億天凈化化學(xué)過濾器適用于AMC控制的要素：

1.效率：高效過濾，比傳統(tǒng)活性炭更廣譜去除氣態(tài)分子污染物

2.兼容性：安裝簡單，可以輕松安裝于現(xiàn)有的空調(diào)機組中，規(guī)格多樣.可根據(jù)客戶的需求定制不同的尺寸和形狀。

3.壓損：低阻力，無遞增壓損，節(jié)能環(huán)保

4.潔凈度：通過化學(xué)反應(yīng)法去除氣態(tài)污染物，氣態(tài)污染物與濾料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，有效杜絕空氣環(huán)境的二次污染，永久去除氣態(tài)污染物，使用壽命長。

5.AMC監(jiān)控

當(dāng)AMC被決定控制并實行，不管使用哪種控制方式，都必須能夠以實現(xiàn)監(jiān)控這種方式知曉環(huán)境是否能滿足指定的AMC控制標(biāo)準(zhǔn)，主要包括潔凈空間和各級過濾系統(tǒng)的最終控制效果。

AMC化學(xué)污染物在線監(jiān)測系統(tǒng)

億天凈化提供的AMC化學(xué)污染物控制綜合解決方案中，會運用相關(guān)智能在線監(jiān)測系統(tǒng)對潔凈室內(nèi)部分區(qū)域AMC含量濃度等環(huán)境參數(shù)進(jìn)行實時監(jiān)測，實時掌握空氣潔凈度的變化趨勢，以及任何一次超出控制的異常情況，才能讓污染物在對工藝、產(chǎn)品可能產(chǎn)生不良影響之前就采取措施，清除可能的不良作業(yè)、污染源和污染事件。