半導(dǎo)體制造

 

　　Semiconductor Manufacturing

 

　　半導(dǎo)體短缺和半導(dǎo)體更小的工藝節(jié)點(diǎn)競爭。集成電路(IC)的短缺要求從制造過程中獲得更多的產(chǎn)出，因此行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者則在競爭更小的工藝節(jié)點(diǎn)。這些挑戰(zhàn)要求對空氣中的顆粒物污染進(jìn)行監(jiān)測，以確保產(chǎn)品無風(fēng)險(xiǎn)，產(chǎn)量(產(chǎn)品良率)提升，順利通過潔凈審核。TSI通過我們的高靈敏度粒子計(jì)數(shù)器提供從納米粒子到亞微米粒子等完整的環(huán)境監(jiān)測解決方案，滿足半導(dǎo)體短缺和更小工藝節(jié)點(diǎn)的競爭需求。

 

　　

 

　　TSI 10 nm潔凈室凝聚核粒子計(jì)數(shù)器(CPC)和0.1 μm粒子計(jì)數(shù)器(手持式粒子計(jì)數(shù)器和遠(yuǎn)程粒子計(jì)數(shù)器)是滿足半導(dǎo)體行業(yè)關(guān)鍵需求的最佳組合。

 

　　TSI 提供高靈敏度粒子計(jì)數(shù)器近60 余載，比任何其他粒子計(jì)數(shù)器公司歷史更悠久。TSI儀器被用于世界各地國家級標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室，這些實(shí)驗(yàn)室要求卓越的準(zhǔn)確性、重復(fù)性和可靠性。 絕不妥協(xié)于任一制造過程——相信TSI會(huì)監(jiān)測到一切。

 

　　獨(dú)一無二的10nm測量

 

　　0.1 μm塵埃粒子計(jì)數(shù)器不能檢測納米級粒子污染物-你需要CPC(凝聚核粒子計(jì)數(shù)器)。利用我們在CPC技術(shù)上數(shù)十年的經(jīng)驗(yàn)，TSI AeroTrak® 9001潔凈室凝聚核粒子計(jì)數(shù)器(CPC)是專為超潔凈半導(dǎo)體制造提供可靠的、實(shí)時(shí)的納米粒子檢測，0.1 CFM流量用于檢測空氣或惰性壓縮氣體中的顆粒。